2015年净化工程洁净等级标准规范

ISO14644-1和GB50073-2001的空气洁净度级别ISO等级大于或等于表中所示粒径的粒子最大浓度限值（个 每立方米空气）序数（N）0 1μm0 2μ

ISO14644-1和GB50073-2001的空气洁净度级别

ISO等级	大于或等于表中所示粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气）
序数（N）	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm	对应传统洁净度分级
ISO 1 级	10	2
ISO 2 级	100	24	10	4
ISO 3 级	1000	237	102	35	8		1级
ISO 4 级	10000	2370	1020	352	83		10级
ISO 5 级	100000	23700	10200	3520	832	29	百级
ISO 6 级	1000000	237000	102000	35200	8320	293	千级
ISO 7 级				352000	83200	2930	万级
ISO 8 级				3520000	832000	29300	10万级
ISO 9 级				35200000	8320000	293000	30万级

欧洲洁净度级别草案CEN/TC243

级别	粒/m3
	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm	10μm
0	20	6		(1)
1	250	63	28	10
2	2500	625	278	100	25
3	25000	6250	2778	1000	250	10
4		62500	27778	10000	2500	100	25
5				100000	25000	1000	250
6				1000000	250000	10000	2500
7				(10000000)	2500000	100000	25000
注：（）内数字供参考

日本洁净度级别（JIS-9920）

粒径/μ	个/m3
	1级	2级	3级	4级	5级	6级	7级	8级
0.1	101	102	103	104	105	106	107	108
0.2	2	24	236	2360	23600	_	_	_
0.3	1	10	101	1010	10100	101000	1010000	10100000
0.5	(0.35)	(3.5)	35	350	3500	35000	350000	3500000
5.0					29	290	2900	29000
粒径范围/μm	0.1~0.3		0.1~0.5		0.1~5.0	0.3~5.0

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