对于无尘室生产设备的保养措施有以下三点：
1、生产设备之选择、布置与保养：
a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。
b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。
d.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。
e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。
f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。
g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。
h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。
i.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。
j.对于施工或维修之厂商，应告知进出无尘室之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。
k.应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。
l.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。
2、生产设备之防尘措施：
a.磨损、切削均为发生微尘之原因，故需将发尘部分掩盖之。
b.易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。
c.在操作时，尽量减少接触零件或产品。
d.不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。
e.各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。
f.为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。
3、自动化与无尘化：
a.设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。
b.建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定，无尘室作业人员作业规则，无尘室管理规则等
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