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FFU洁净室须俱备哪些因素?
FFU洁净室须俱备以下各项因素: 1 能除去空气中飘游之微尘粒子。 2 FFU能防止微尘粒子之产生。 3 温度和湿度之控制。 4
FFU洁净室须俱备以下各项因素:
1 .能除去空气中飘游之微尘粒子。
2 .FFU能防止微尘粒子之产生。
3 .温度和湿度之控制。
4 .压力之调节。
5 .有害气体之排除。
6 .结构物与隔间之气密性。
7 .静电之防制。
8 .电磁干扰之预防。
9 .安全因素之考虑。
10.节能之考量。
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