（1）洁净室FFU回风系统灵活性大，便于改造；
（2）占用建筑物空间较少；
（3）洁净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性。
在洁净室具体情况下的评价来说，洁净室FFU回风系统系统凸显的优点是：
（1）用于旧建筑物改造洁净室时，FFU回风系统综合经济性是可取的。
（2）而对洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率达百分百时，对小系统比较有意义。
洁净室FFU回风系统有优点也会有缺点。缺点：
(1)要求回风道全部阻力(包括多孔地板、格栅及风道)、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力(在初阻力时)，总共应控制在165Pa左右，以满足运行时最大阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大，回风道尺寸亦要较大，多孔地板及格栅等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回风道阻力在15Pa以内，否则就需要再增设加压风机系统，这就是降低了FFU系统的综合优点。
（2）洁净度要求不严的洁净室，末级过滤器满布率小于40%时对大系统综合经济性往往相差不多。
